将电机设备压缩至纳米尺度可制造出新的装置，例如超敏感生物感应器、极度精确的加速计、超高速集成电路开关等。康奈尔大学（Cornell University）的研究者们朝向这一目标迈出了重要的一步，他们利用石墨烯制造出大面积阵列纳米尺度共振器。

　　一种原子薄的形态的碳就被叫做石墨烯，它是单层组成的石墨新材料，它是一种最有潜力的新材料，可以制造纳机电系统(NEMS)。石墨烯是迄今已知最强的材料，也最具导电性。其单原子薄的尺寸意味着它不仅绝对超轻，且可迅速移动。康奈尔大学物理学家保罗·麦克尤恩（Paul McEuen）说，利用石墨烯可制造大量纳米装置，这只需采用研发设备蚀刻硅芯片，是在晶片上蚀刻。然而，用石墨烯制造机械性纳米机器是一个挑战。迄今为止，大多数已研发的装置都是一次性的。

　　麦克尤恩与其同事——康奈尔大学教授哈罗德·克莱格海德（Harold Craighead）如今已证明，他们可制造出石墨烯纳米器件，该器件名为硅片表面上的共振器。每个共振器的制备都是采用了石墨烯薄膜，这种薄膜可前后震荡，如同弹簧床般上下振动，可以响应作用在其表面的机械力，也可以响应电场。

　　康奈尔大学研究组首先在硅片表面刻出沟槽。接着，他们将在铜箔上生成的石墨烯薄膜覆盖在硅片上。石墨烯如同保鲜膜般粘着在硅片表面。研究人员最后给石墨烯通上电流，便完成了共振器的制作。在《纳米快报》（Nano Letters）期刊上可在线获得这项研究的描述。

　　麦克尤恩说：“我们正在大量制作这种相同的共振器，这标志着从实验室的实验转化为一项技术。”早前纳米共振器的制备在这个尺寸不是太薄就是灵敏度不够，或者只能一次生产一个。加利福尼亚大学伯克利分校（University of California, Berkeley）的物理学教授艾利克斯·赞图（Alex Zettl）说：“制备纳米装置有两大障碍，即扩容性与性能的可重复性。”赞图教授用纳米碳管制作了相似的装置，其中包括一个用单一纳米碳管制成的收音机。赞图说，“使用单层石墨烯使许多装置的制造可一步完成，又具有类似性能。”

　　石墨烯纳米共振器可制造出灵敏度极高的化学探测器或加速计。悬浮的石墨烯薄膜产生的反应很剧烈，任何重量添加就会这样——哪怕只添加一个分子或一个原子。麦克尤恩说，“它强有力地联系着外部世界，”这就可制成优质传感器。

　　罗德·洛夫（Rod Ruoff）是奥斯汀（Austin）德克萨斯大学（University of Texas）机械工程学教授，他首创了石墨烯生长与转换技术，就是康奈尔研究小组所使用的技术。洛夫教授表示，这项研究表明，该类型的石墨烯在纳米机械系统中表现优异。但是洛夫说，他看到在共振器的性能上仍存在改进空间。

　　康奈尔大学的研究者如今正致力于挖掘石墨烯共振器的极限性能。石墨烯的晶格结构决定了它的强度与导电性，但在康奈尔大学迄今所研制的装置中仍不完美。

　　研究人员也希望能够利用好纳米尺度中的量子效应。麦克尤恩指出，这有助于提升它们的灵敏度。