突破集成电路的物理极限


  研究人员开发出一种新方法,可以生产非常密集的阵列状碳纳米管,适于制备复杂的集成电路。

  碳纳米管晶体管显示了巨大的前景,已经有简单的实验原型,但是,要把它们制成复杂的电路,需要用于芯片,运行计算机的和手机,这已经证明很棘手。斯坦福大学(Stanford University)的研究人员正在使用新的制造方法,研制更加复杂的电路,他们希望,这种电路不久将匹敌硅的速度。

  多年来,计算机科学家们一直担心,他们持续缩小硅晶体管,集成更多的运算能力,采用越来越小的空间,这样,他们就会遇到这种材料的物理极限。许多替代材料目前正在探讨,包括奇特半导体,还有另一种形态的碳,称为石墨烯。不过,对于数字逻辑,许多人认为碳纳米管表现出最大的希望。“没有其他材料显示出可以同样缩减尺寸,幅度就像碳纳米管那样,”阿龙•富兰克林(Aaron Franklin)说,他是IBM公司沃森研究中心(Watson Research Center)的研究员,就在纽约约克镇高地(Yorktown Heights)。硅晶体管缩小到相当尺度时,就会变得漏电,不稳定。

  然而,制造单个的高性能纳米晶体管是一回事,制备大型阵列碳纳米管并集成到电路,又是另一回事。在过去的几年中,斯坦福大学的研究人员制成了一些最复杂的纳米管电路。他们开发了变通方法,克服碳纳米管的缺陷,这种缺陷就是会出现金属管,就在半导体之间,这些半导体管需要用于晶体管,这是举例而言。但是,这些电路还比较简单,进行运算的水平大约处于硅电路上世纪60年代的状况。

  这里的瓶颈一直是制备密集阵列、排列整齐的碳纳米管。斯坦福大学教授H-S菲利普•汪(H-S Philip Wong)和苏步哈希石•米特拉(Subhasish Mitra)此前使用压印技术(stamping technique),转印良好对齐的纳米管,这些纳米管生长在石英上,要转印到二氧化硅晶圆上,以制备晶体管阵列和电路。但是,没有很多碳纳米管在每个晶体管中传输电流,低电流的晶体管没有足够高的输出功率,难以制成复杂的电路。这是因为斯坦福大学研究人员只能做一个转印步骤,之后,碳纳米管就会纠结成团,不能制成晶体管。研究人员尝试放置更多的纳米管,希望成比例增加电流,这时,米特拉说:“种种奇怪的相互作用就会发生,有时候你实际获得的是更少的电流。”

  同样是这些研究人员,现在已经开发出一种方法,可以压紧层状纳米管,这样,更多的层就可以沉积在上面。“这种纳米管就像脆弱的线,趋向彼此相互作用,”米特拉说。“我们必须添加薄薄的一层固体,在中间保护它们。”

  斯坦福大学的研究人员放置了一层薄薄的金,放到每个压印图案上。一旦金层和纳米管到位,研究人员就蚀刻掉金的地方,在这些地方,他们希望放置每个晶体管的电触头(electrical contacts)。然后,他们填满这些洞,填上金属接触材料,如钛和钯。最后,他们蚀刻掉剩下的黄金。这整个结构都是做在一个二氧化硅晶圆上,晶圆有模式化的背栅(back gate),用于晶体管。这项工作已在线介绍,就在本星期的《纳米快报》(Nano Letters)杂志上。

  米特拉认为,应可以进行几次转印,密度为每微米100至200个纳米管。这项转印技术兼容的一些技术是本集团过去开发的,用以处理杂散金属纳米管,以及偶尔错位的纳米管。

  “今天,纳米管做起来很麻烦,”富兰克林说。但是,“没有根本的瓶颈,不是不可能做到。”